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【第一參賽人/留學(xué)人員】王士京

【留學(xué)國家】日本

【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車

【參賽屆次】第10屆

【所獲獎項】二等獎

【項目簡介】
光刻膠灰化是芯片加工中一個重要的步驟，從成熟工藝到先進工藝都離不開有機物掩膜的灰化（比如光刻膠灰化）這道工藝，此外隨著制造工藝技術(shù)節(jié)點的不斷推進，在灰化的同時，對離子轟擊導(dǎo)致的表面損傷要求越來越高。目前國內(nèi)外加工廠所用主流的灰化刻蝕設(shè)備有Mattson,PSK,Lam等。前述幾個公司的關(guān)鍵技術(shù)主要掌握在國外團隊手中，零部件國產(chǎn)化率低。本項目產(chǎn)品是全新的12寸灰化蝕刻機，新型反應(yīng)機理，在完全去除有機物掩膜的同時，最大程度地減少底層材料表面狀態(tài)的損傷，實現(xiàn)超低損傷的蝕刻性能。目前項目產(chǎn)品300A/300E在成熟和先進節(jié)點得到了廣泛應(yīng)用。 【展開】 【收起】
【成立時間】2020年08月01日
【行業(yè)領(lǐng)域】零售業(yè)
【注冊資本】1000萬元
【企業(yè)法人】王兆祥
【官方網(wǎng)站】https://www.bxsemi.com/
【公司地址】中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)洲德路1588號2幢2座
【企業(yè)簡介】
??諳邦半導(dǎo)體是?上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司的臨港落地項目公司，是邦芯的全資子公司。?諳邦半導(dǎo)體專注于真空等離子體技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)，主要研發(fā)項目包括?化合半導(dǎo)體和硅基芯片加工設(shè)備，如化合物半導(dǎo)體刻蝕機、化合物芯片介質(zhì)刻蝕機等，致力于解決國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的“卡脖子”問題，實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。諳邦半導(dǎo)體已成功應(yīng)用于?中芯國際、?積塔半導(dǎo)體、?鼎泰匠芯等高制程芯片企業(yè)，并帶動上下游企業(yè)協(xié)同發(fā)展。此外，諳邦半導(dǎo)體在初創(chuàng)期獲得了?上海銀行的金融支持，成功晉級?X·TIME2024國際創(chuàng)業(yè)大賽復(fù)賽，并被評為上海市高新技術(shù)企業(yè)、?專精特新企業(yè)。? 【展開】 【收起】